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國家重點學科，博士和碩士學位授予點，建有全國唯一的有關IC設計的"專用集成電路和系統"國家重點實驗室。現有教授18人，國外顧問教授3人，副教授19人,客座教授14人。

主要研究方向：

①系統集成芯片設計方法學研究和應用
②集成電路計算機輔助設計
③半導體工藝/微電子薄膜及其在固態器件中的應用
④微電子機械和集成傳感器研究

近年來主要科研項目和成果：

自2000年以來承擔和完成了近百項國家科技重點攻關、"863"高科技、"973"重點基礎研究、國家自然科學基金、上海市科委、信息委和經委等有關超大規模集成電路設計、計算機輔助設計以及集成電路新型工藝與器件等方面的科研項目。取得了以"0.35~1微米CMOS基本單元庫"（國家科技進步二等獎）、"IC計算機輔助設計系統軟件發展技術"（上海市科技進步二等獎）為代表的一批科研成果。并將科研成果及時轉化，孵化出上海復旦　微電子股份有限公司和上海華虹集成電路有限公司，產生明顯的經濟和社會效益。出版學術專著8部，其中"Micro Mechanical Transducers"（Elsevier Science出版社）和"Nonequilibrium nondissipative 　thermodynamics"（Springer出版社）具有較大國際影響。

本學科點與國外多所著名大學有緊密協作關系。與荷蘭德爾福特技術大學（TU Delft）建立了長期合作交流計劃，2003年起每年派遣多位碩士生赴荷進行聯合培養。與工業界合作，建立了包括英特爾、英飛凌、Xilinx等多個聯合實驗室，2003年10月成立的"復旦－Novellus互連研究中心"是國內微電子研發單位中唯一擁有8英寸銅互連工藝設備的實驗室。廣泛開展學術交流，近幾年已成功舉辦了八次有關集成電路設計與工藝方面的國際會議，學術氣氛濃厚。

開設的主要專業課程：

VLSI集成技術原理，集成電路設計方法，半導體器件物理，模擬集成電路和系統設計，現代集成電路分析方法，半導體工藝技術，半導體工藝和器件的計算機模擬，微電子材料與工藝，工程數學等。

微電子學與固體電子學是一門新興的高科技學科，微電子產業是與國民經濟發展、人民生活水平提高、鞏固國防密切相關的重要產業，是衡量一個國家綜合國力的重要標志。近幾年來，我國正在大力發展微電子技術，正在上海浦東建設微電子產業基地，大量需要包括集成電路設計、工藝技術、產品開發、應用、測試、封裝等各個層次的微電子專業人才。可以預計，幾年內微電子畢業生將遠遠滿足不了需要。畢業生主要去向為：集成電路制造企業、集成電路設計公司、應用集成電路的整機單位、科研院所、高等院校等。