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劉志權(quán)
單位:中國科學院金屬研究所
地址:遼寧省沈陽市沈河區(qū)文化路72號,中國科學院金屬研究所,環(huán)境功能材料研究部
郵編:110016
電話:024-83970826
個人主頁: http://sourcedb.imr.cas.cn/zw/rck/yjy_imr/201311/t20131113_3977687.html
實驗室介紹: http://www.imr.cas.cn/yjtd/lzqteam
個人簡歷 Personal resume
劉志權(quán),中國科學院金屬研究所,研究員,博士生導師,創(chuàng)新課題組長,中國科學院“百人計劃”海外引進學者。中國電子學會電子制造與封裝技術(shù)分會理事,遼寧半導體裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟理事,國家集成電路封測產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟會員,國家集成電路標準化總體工作組成員。
長期從事與性能相關(guān)的材料結(jié)構(gòu)及功能的顯微組織表征和原位制備研究,目前研究重點為微電子材料和封裝結(jié)構(gòu)的組織性能及服役可靠性。主要針對微電子材料及其互連界面和封裝結(jié)構(gòu),進行材料微觀結(jié)構(gòu)與性能演化方面的應用基礎(chǔ)研究。包括材料和界面結(jié)構(gòu)的靜態(tài)表征,以及在熱,電,力作用下化合物轉(zhuǎn)變和缺陷演化的動態(tài)過程,以從微觀角度探討材料和界面失效的相關(guān)機理,為提高微電子材料性能和互連界面可靠性提供理論依據(jù)和解決途徑。
截至目前在包括Nature,Science,Phys. Rev. Letter,Acta Mater., Nanotechnology等國內(nèi)外雜志上發(fā)表期刊論文100余篇,國際會議論文40余篇;其中SCI收錄80余篇,被SCI他人引用1400余次;獲授權(quán)中國專利6項及日本發(fā)明專利1項,另申請中國專利13項及美國發(fā)明專利1項;承擔及參加國家及省部級項目等10余項,直接負責科研經(jīng)費近1000萬元;合作開發(fā)的三維透射電鏡表征技術(shù)(3D-OMiTEM)入選2011年度美國材料學會焦點新聞,并榮獲2012年度美國顯微學會創(chuàng)新獎。
目前研究領(lǐng)域及方向
1)新型微電子互連材料的開發(fā)與應用探索;
2)錫基無鉛互連界面的微觀組織演變和失效機制研究;
3)高密度封裝結(jié)構(gòu)的多場服役可靠性評價;
4)表面與界面的原子結(jié)構(gòu)表征及原位相變觀察。
負責與參與的主要科研項目
1)中科院百人計劃項目,透射電鏡內(nèi)電子材料多場耦合行為的動態(tài)觀察研究,負責人,2008-2011;
2)教育部留學回國人員科研啟動基金項目,通電加熱條件下無鉛互連材料與銅基板的界面反應,負責人,2009-2010;
3)國家科技重大項目02專項,新型圓片級封裝工藝技術(shù)開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化,課題任務負責人,2011-2013;
4)國家自然科學基金重點項目,含稀貴金屬高溫合金的設(shè)計與應用的基礎(chǔ)研究,子課題負責人,2011-2014。
5)國家重點基礎(chǔ)研究973計劃項目,介觀尺度材料特性與服役行為表征的基礎(chǔ)研究,子課題負責人,2010-2014;
6)華為技術(shù)有限公司項目,釬焊類失效機理及界面微觀組織分析,負責人,2013-2016。
研究方向 Research direction
1、新型微電子互連材料
2、互連界面反應機理
3、封裝結(jié)構(gòu)的服役可靠性
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