圖書簡介
品牌:圖書詳情 商品基本信息,請以下列介紹為準 商品名稱: 半導體測試技術原理與應用 作者: 劉新福//杜占平//李為民 市場價: 28元 文軒網價: 23元【82折】 ISBN號: 9787502441012 出版社: 冶金工業出版社 商品類型: 圖書
其他參考信息(以實物為準) 裝幀: 開本:32開 語種: 出版時間:2006-11-01 版次: 頁數: 印刷時間:2007-01-01 印次: 字數: 溫馨提示:出版時間超過3年的圖書,因長時間儲存可能會產生紙張缺陷,敬請諒解!
內容簡介 全書共11章。第1章對半導體微區電阻測量技術的各種方法進行了分析比較,對國內外薄層電阻測試方法進行綜述;第2章是四探針技術測量薄層電阻原理的分析,對常規直線四探針法、改進的范德堡法和斜置式方形Rymaszewski四探針法分別進行了詳細論述;第3章深入地討論了四探針測試技術中的共性問題,重點對測試設備的校準及環境對測量的影響,以及對四探針測試中的邊緣修正問題進行了論述;第4章論述了本課題組開發的自動測量四探針儀測控系統;第5章論述游移對測試結果的影響及測量薄層電阻的改進Rymaszewski方法;第6、7章分別論述探針圖像預處理、邊緣檢測以及探針的圖像分割、定位控制與探針圖像檢測精度分析;第8章對電阻率的無接觸測量技術及自主研制的薄層電阻自動測試儀器進行了分析與介紹;第9章討論了高電阻率材料的電學參數測量問題;第10章論述了掃描電子顯微鏡及其在半導體測試技術中的應用;第11章介紹了外延片的物理測試原理。
目錄 1 半導體微區電阻測量技術2 四探針技術測量薄層電阻的原理分析3 四探針測試技術中的共性問題4 四探針儀測控系統及其實現5 游移對測試結果的影響及測量薄層電阻的改進Rymaszewski方法6 探針圖像預處理及邊緣檢測7 探針的圖像分割、定位控制與檢測精度分析8 電阻率的無接觸測量及自動測試技術9 高是阻率材料的電學參數測量10 掃描電子顯微鏡及其在半導體測試技術中的應用11 外延片的物理測試參考文獻
目錄
品牌:圖書
商品基本信息,請以下列介紹為準 | |
商品名稱: | 半導體測試技術原理與應用 |
作者: | 劉新福//杜占平//李為民 |
市場價: | 28元 |
文軒網價: | 23元【82折】 |
ISBN號: | 9787502441012 |
出版社: | 冶金工業出版社 |
商品類型: | 圖書 |
其他參考信息(以實物為準) | ||
裝幀: | 開本:32開 | 語種: |
出版時間:2006-11-01 | 版次: | 頁數: |
印刷時間:2007-01-01 | 印次: | 字數: |
溫馨提示:出版時間超過3年的圖書,因長時間儲存可能會產生紙張缺陷,敬請諒解! |
內容簡介 | |
全書共11章。第1章對半導體微區電阻測量技術的各種方法進行了分析比較,對國內外薄層電阻測試方法進行綜述;第2章是四探針技術測量薄層電阻原理的分析,對常規直線四探針法、改進的范德堡法和斜置式方形Rymaszewski四探針法分別進行了詳細論述;第3章深入地討論了四探針測試技術中的共性問題,重點對測試設備的校準及環境對測量的影響,以及對四探針測試中的邊緣修正問題進行了論述;第4章論述了本課題組開發的自動測量四探針儀測控系統;第5章論述游移對測試結果的影響及測量薄層電阻的改進Rymaszewski方法;第6、7章分別論述探針圖像預處理、邊緣檢測以及探針的圖像分割、定位控制與探針圖像檢測精度分析;第8章對電阻率的無接觸測量技術及自主研制的薄層電阻自動測試儀器進行了分析與介紹;第9章討論了高電阻率材料的電學參數測量問題;第10章論述了掃描電子顯微鏡及其在半導體測試技術中的應用;第11章介紹了外延片的物理測試原理。 |
目錄 | |
1 半導體微區電阻測量技術2 四探針技術測量薄層電阻的原理分析3 四探針測試技術中的共性問題4 四探針儀測控系統及其實現5 游移對測試結果的影響及測量薄層電阻的改進Rymaszewski方法6 探針圖像預處理及邊緣檢測7 探針的圖像分割、定位控制與檢測精度分析8 電阻率的無接觸測量及自動測試技術9 高是阻率材料的電學參數測量10 掃描電子顯微鏡及其在半導體測試技術中的應用11 外延片的物理測試參考文獻 |
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