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圖書簡介

本書是The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication 的第三版。本書系統地介紹了微電子制造科學原理與工程技術，覆蓋了集成電路制造所涉及的所有基本單項工藝，包括光刻、等離子體和反應離子刻蝕、離子注入、擴散、氧化、蒸發、氣相外延生長、濺射和化學氣相淀積等。本書新增加的內容包括原子層淀積、電鍍銅、浸潤式光刻、納米壓印與軟光刻、薄膜器件、有機發光二極管以及應變技術在CMOS 工藝中的應用等，對于其他已經過時的或不再具有先進性的題材則做了適當的簡化或刪除處理。
本書可作為高等學校微電子專業本科生和研究生相應課程的教科書或參考書，也可供與集成電路制造工藝技術有關的專業技術人員學習參考。
目錄
斯蒂芬A·坎貝爾：明尼蘇達大學電子與計算機工程系的教授，該校技術研究院的杰出教授，同時兼任該校納米制造中心和納米結構應用中心的主任。無論是在學術界還是在工業界，他在微電子工藝制造領域都有著廣泛的經驗。他目前的研究領域包括半導體納米顆粒在高性能電子器件與

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